химийн гадаргуугийн дулааны боловсруулалт
Химийн дулааны боловсруулалт гэдэг нь бэлдэцийг халаах, дулаан хадгалах тусгай орчинд байрлуулж, орчин дахь идэвхтэй атомууд нь ажлын хэсгийн гадаргуугийн давхаргад нэвтэрч, улмаар түүний химийн найрлага, бүтцийг өөрчилдөг дулааны боловсруулалтын процесс юм. ажлын хэсгийн гадаргуугийн давхарга, дараа нь түүний гүйцэтгэлийг өөрчлөх. Химийн дулааны боловсруулалт нь гадаргуу, хатуу, доторлогооны бат бөх чанарыг олж авах аргуудын нэг юм. Гадаргууг бөхөөхтэй харьцуулахад химийн дулааны боловсруулалт нь гангийн гадаргуугийн бүтцийг өөрчилдөг төдийгүй түүний химийн найрлагыг өөрчилдөг. Шинжлэгдсэн янз бүрийн элементүүдийн дагуу химийн дулааны боловсруулалтыг нүүрстөрөгчжүүлэх, нитритжүүлэх, олон нэвчдэсжилт, бусад элементүүдийн нэвчилт зэрэгт хувааж болно. Химийн дулааны боловсруулалт нь задрал, шингээлт, тархалт гэсэн гурван үндсэн процессыг агуулдаг.
Түгээмэл хэрэглэгддэг химийн дулааны боловсруулалт:
Нүүрсжих, азотжуулах (нийтлэг нитрижлэх), карбонитжуулах (ихэвчлэн цианиджуулах, зөөлөн азотжуулах гэх мэт) хүхэржүүлэх, боржуулах, хөнгөнцагаанжуулах, ванаджуулах, хромжуулах гэх мэт.
металл бүрээс
Үндсэн материалын гадаргуу дээр нэг буюу хэд хэдэн металл бүрээсийг бүрэх нь түүний элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтээс хамгаалах, халуунд тэсвэртэй байх, эсвэл бусад онцгой шинж чанарыг олж авах боломжтой. Цахилгаанаар бүрэх, химийн бүрэх, нийлмэл бүрэх, нэвчилтээр бүрэх, халуун дүрэх, вакуум ууршуулах, шүрших, ионоор бүрэх, шүрших болон бусад аргууд байдаг.
Металл карбидын бүрээс - Уурын хуримтлал
Уур хуримтлуулах технологи гэдэг нь тунадасжилтын элемент агуулсан уурын фазын бодисыг материалын гадаргуу дээр физик болон химийн аргаар хуримтлуулж, нимгэн хальс үүсгэдэг шинэ төрлийн бүрэх технологийг хэлдэг.
Тунах үйл явцын зарчмын дагуу уурын хуримтлуулах технологийг физик уурын хуримтлал (PVD) ба химийн уурын хуримтлал (CVD) гэсэн хоёр ангилалд хувааж болно.
Физик уурын хуримтлал (PVD)
Физик уурын хуримтлал гэдэг нь материалыг вакуум нөхцөлд физик аргаар атом, молекул эсвэл ион болгон ууршуулж, хийн фазын процессоор материалын гадаргуу дээр нимгэн хальс үүсгэдэг технологийг хэлнэ.
Физик хуримтлуулах технологи нь вакуум ууршилт, шүрших, ион бүрэх гэсэн гурван үндсэн аргыг агуулдаг.
Физик уурын хуримтлал нь өргөн хүрээний субстратын материал, хальстай материалтай; үйл явц нь энгийн, материал хэмнэлттэй, бохирдолгүй; олж авсан хальс нь хальсан сууринд бат бөх наалддаг, хальсны зузаан жигд, нягтралтай, цоорхой багатай зэрэг давуу талуудтай.
Химийн уурын хуримтлал (CVD)
Химийн уурын хуримтлал гэдэг нь холимог хий нь субстратын гадаргуутай тодорхой температурт харилцан үйлчилж, субстратын гадаргуу дээр металл эсвэл нийлмэл хальс үүсгэх аргыг хэлдэг.
Химийн уурын хуримтлуулах хальс нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, халуунд тэсвэртэй, цахилгаан, оптик болон бусад тусгай шинж чанартай байдаг тул машин үйлдвэрлэл, сансар, тээвэр, нүүрсний химийн үйлдвэр болон бусад үйлдвэрлэлийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг.